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1）高纯气体管道的管径，应根据工艺设备的实际消耗量、压力和流速确定，气体管径不小于φ6mm ×1mm。
在确定高纯气体管径时，应当考虑高纯气体使用场所的特殊性∶一是生产工艺复杂，加工精细，技术更新换代快，生产工艺随时调整;二是有些生产设备用气量小。为此，管径要考虑并能适应生产调整的需要，如气体干管不一定按流量计算逐级设变径。同时还应注意到管径过大，不仅浪费材料，而且对高纯气体管道初次吹扫，放空时间长，气体消耗量大。尤其当间断用气，由于气体流速小，要达到规定的用气质量较困难或需要很长的时间。
2）一般高纯气体的干管，应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。当与水，电管线共架时，应设在其上部，与本房间无关的管道不应穿过。
洁净室的气体管道及管架宜设装饰面板。当有可燃气体管道时，应敷设在装饰面板外侧，水平敷设时应在顶部。
3）气体管道布置时应尽量短直，不应出现不易吹除的"盲管"等死角。
4）为便于在高纯气体管道检修前后进行吹扫，或当纯度不符合要求时进行吹扫，应在干管或支管末端设必要的吹除口和取样口。
5）为便于检测气体在输送过程中气体的纯度，应在管道系统上设置必要的取样口。
6）穿过墙壁或楼板的气体管道，应敷设在预埋套管内。套管内的管段不应有焊缝，管道与套管之间应采取可靠的密封措施。
7）可燃气体和氧气管道的末端或最高点，应设放散管，便于在气体管路发生事故或气体纯度不符合生产要求时，需及时吹除置换。放散管引至室外，应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的措施。
8）在工艺生产过程中，对各种气体纯度及含尘量都有一定要求。气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度要求进行选择和配置。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。
9）根据生产工艺过程对气体含尘量的要求，选择气体过滤器。气体过滤器有高效过滤器和中效过滤器两种。在车间入口室的干管上，一般装设中效过滤器，而在邻近用气点处，装置高效过滤器。中效过滤器内装填材料有多孔陶瓷管、多孔钢玉管、微孔玻璃制品、微孔泡沫塑料、粉末治金管、聚丙腈纤维等。高效过滤器（高精度终端过滤器）的过滤材料是超细玻璃棉高效滤纸、醋酸纤维素滤膜、粉末金属材料等。
10）进入洁净厂房的高纯气体管道的控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，应集中设在气体入口室内，便于统一管理和控制，以利安全生产。
11）甲类火灾危险生产用气体入口室的设置，应符合下列规定∶
①毗连布置时，宜设在单层厂房靠外墙，或多层厂房的最上一屋靠外墙处。
②应有良好的通风。
③泄压面积和电气防爆，应按现行国家标准 GBJ 16-1987《建筑设计防火规范》、GB/T 50058-1992《爆炸和火灾危险环境电力装置 设计规范》的规定执行。
在确定高纯气体管径时，应当考虑高纯气体使用场所的特殊性∶一是生产工艺复杂，加工精细，技术更新换代快，生产工艺随时调整;二是有些生产设备用气量小。为此，管径要考虑并能适应生产调整的需要，如气体干管不一定按流量计算逐级设变径。同时还应注意到管径过大，不仅浪费材料，而且对高纯气体管道初次吹扫，放空时间长，气体消耗量大。尤其当间断用气，由于气体流速小，要达到规定的用气质量较困难或需要很长的时间。
2）一般高纯气体的干管，应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。当与水，电管线共架时，应设在其上部，与本房间无关的管道不应穿过。
洁净室的气体管道及管架宜设装饰面板。当有可燃气体管道时，应敷设在装饰面板外侧，水平敷设时应在顶部。
3）气体管道布置时应尽量短直，不应出现不易吹除的"盲管"等死角。
4）为便于在高纯气体管道检修前后进行吹扫，或当纯度不符合要求时进行吹扫，应在干管或支管末端设必要的吹除口和取样口。
5）为便于检测气体在输送过程中气体的纯度，应在管道系统上设置必要的取样口。
6）穿过墙壁或楼板的气体管道，应敷设在预埋套管内。套管内的管段不应有焊缝，管道与套管之间应采取可靠的密封措施。
7）可燃气体和氧气管道的末端或最高点，应设放散管，便于在气体管路发生事故或气体纯度不符合生产要求时，需及时吹除置换。放散管引至室外，应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的措施。
8）在工艺生产过程中，对各种气体纯度及含尘量都有一定要求。气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度要求进行选择和配置。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。
9）根据生产工艺过程对气体含尘量的要求，选择气体过滤器。气体过滤器有高效过滤器和中效过滤器两种。在车间入口室的干管上，一般装设中效过滤器，而在邻近用气点处，装置高效过滤器。中效过滤器内装填材料有多孔陶瓷管、多孔钢玉管、微孔玻璃制品、微孔泡沫塑料、粉末治金管、聚丙腈纤维等。高效过滤器（高精度终端过滤器）的过滤材料是超细玻璃棉高效滤纸、醋酸纤维素滤膜、粉末金属材料等。
10）进入洁净厂房的高纯气体管道的控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，应集中设在气体入口室内，便于统一管理和控制，以利安全生产。
11）甲类火灾危险生产用气体入口室的设置，应符合下列规定∶
①毗连布置时，宜设在单层厂房靠外墙，或多层厂房的最上一屋靠外墙处。
②应有良好的通风。
③泄压面积和电气防爆，应按现行国家标准 GBJ 16-1987《建筑设计防火规范》、GB/T 50058-1992《爆炸和火灾危险环境电力装置 设计规范》的规定执行。
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