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压力管道安装许可证(资质):高纯混合气体的用途
在电子、冶金,化工、热处理、化纤、玻璃和食品等工业生产及科研单位,广泛地使用各种高纯气体作为保护气体、反应气体和运载气体。
作为保护气体用的高纯气体有氢气、氮气、氩气和它们的混合物。其用途如下∶
1)防止工业产品在各种加工工艺过程中,以及各种工序间的贮存和器件密封时,免遭周围空气的污染。如电子器件的零件在热处理工序中,若遇空气即被氧化。
2)吹净器件用。如在制造器件外壳的过程中,底盘退火、玻璃与可伐合金零件的封接时,在充还原性气体(氢气、氢氮混合气)前和工作结束后,用保护气体将炉子吹净。在制造半导体器件和集成电路时,保护气体广泛用于扩散和外延生长过程的前后,将扩散炉管和外延装置反应器吹净。
3)在蒸发金属膜时,氧气、氩气用于排气和放气之前,将蒸发装置充满等。
反应气体有氢气和各种氢化气体、氧气等高纯气体。其用途是作为生产钨钼材料、半导体材料时的原料气、还原气。
运载气体是用以将挥发性物质和气体混合物,从发生源输送到扩散炉的炉管或反应器的工作室中。一般运载气体也兼作保护气和稀释气使用。运载气体有氮气、氩气、氦气等。
作为保护气体用的高纯气体有氢气、氮气、氩气和它们的混合物。其用途如下∶
1)防止工业产品在各种加工工艺过程中,以及各种工序间的贮存和器件密封时,免遭周围空气的污染。如电子器件的零件在热处理工序中,若遇空气即被氧化。
2)吹净器件用。如在制造器件外壳的过程中,底盘退火、玻璃与可伐合金零件的封接时,在充还原性气体(氢气、氢氮混合气)前和工作结束后,用保护气体将炉子吹净。在制造半导体器件和集成电路时,保护气体广泛用于扩散和外延生长过程的前后,将扩散炉管和外延装置反应器吹净。
3)在蒸发金属膜时,氧气、氩气用于排气和放气之前,将蒸发装置充满等。
反应气体有氢气和各种氢化气体、氧气等高纯气体。其用途是作为生产钨钼材料、半导体材料时的原料气、还原气。
运载气体是用以将挥发性物质和气体混合物,从发生源输送到扩散炉的炉管或反应器的工作室中。一般运载气体也兼作保护气和稀释气使用。运载气体有氮气、氩气、氦气等。
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